噴霧方式は外部混合二流體ノズルになります。噴霧仕様を案內頂き設計致しますので、ぜひご利用ください。設備取り付けに合わせたノズル形狀で制作が可能です。
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業用
在我們身邊的各種電子設備中使用的半導體。近來，半導體的重要性進一步提高，與此相結合，半導體的品質提高是必須的。在半導體制造裝置中，清洗硅片的半導體清洗裝置是去除導致半導體質量下降的垃圾等異物的重要設備。在半導體清洗裝置中，在將純水和藥劑吹到硅片上的清洗工序中，多使用1流體和2流體的噴嘴。
附著在對象物上的異物和污垢，從0.1℉的垃圾中微量的重金屬原子、碳分子、油脂等各種各樣，其中也有至今為止的噴霧無法清洗、除去的東西。根據異物的不同有難以除去的東西，不能充分發揮作為清洗裝置的性能。另外，半導體清洗裝置的內部，只有復雜而有限的空間，可以搭載的噴嘴有限。為此，本事例的顧客，尋找著①適合裝置的緊湊形狀，②清洗能力高確實能除去異物，③清洗時間能縮短的噴嘴。
特長
微粒化特性に優れた二流體ノズル
耐酸性、耐アルカリ性に優れたPEEK樹脂を採用
低粘度から高粘度までの微粒化噴霧が可能
重量はわずか15g
液通路徑が大きく、詰まり対策に有効
専用設計品
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業用
耐食性に優れ、粘性流體の微粒化塗布に最適なPEEK型
二流體ノズル
半導體精密洗浄
純水噴霧
エッチングでの薬液使用
液晶製造裝置への組込み
日本進口二流體噴嘴納米噴頭半導體行業用
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