日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E
這是一個新系列的換能器類型“G-TRAN 系列多離子規"，可以連接不同測量范圍的觸針。本產品為三極管電離真空計，不易失去靈敏度，即使在真空計的惡劣環境下也能進行更長時間、更準確的真空測量。在繼承長壽命、低運行成本的理念的同時，我們進行了改進，使其更加人性化。
特征
提高可用性：PC/智能手機連接可實現設定點設置、狀態確認等。
燈絲壽命通知功能：燈絲功率監控可提前通知燈絲壽命
可連接不同量程的接點：采用多離子規，可根據應用選擇接點。
緊湊：比傳統產品小得多（控制器體積減少 56%），最小的級別
擴充產品陣容：除了模擬輸出規格（ST200-A）和串行通信規格（ST200-R）之外，還將增加EtherCAT規格（ST200-E）
世界三極管型金屬電離真空計：真空計即使在惡劣環境下也能實現長壽命
壓力測量范圍廣：可測量從大氣壓到高真空范圍（1×10 +5至 1×10 -5 Pa）（連接選購件 SWU10-R 時）
精確的大氣壓測量：可以檢查腔室開口的大氣壓（連接可選單元 SAU 時）
用途
用于有機EL、觸控面板等制造設備的極限壓力確認和過程控制
用于檢查真空爐等各種工業真空設備的極限壓力
用于在含有許多碳氫化合物（油基）的大氣中進行測量
用于在真空部件加工過程中殘留切削油或清潔液的環境中進行測量
用于希望減少更換真空計測針頻率的真空設備
日本ulvac熱陰極電離真空計 ST200-A/R/E
規格
| 模型 | ST200-A | ST200-R | ST200-E（即將發布） | |
| 規格 | 標準規格 | 串行通信規范 | EtherCAT 規格 | |
| 自適應多離子規傳感器 | SWT-16(NW16)、SWT-25(NW25) | |||
| 可連接傳感器 | 多離子規傳感器：1 個 皮拉尼規 SWU10-R：1 個（選項） 大氣壓傳感器 SAU：1 個（選項） | |||
| 重復性 (N 2 ) | ST200 獨立模式：±2% | |||
| 采樣時間 | 60ms 5次移動平均處理 | |||
| 測量值輸出 | 輸出電壓 DC 0 至 10V LOG 輸出 0.75V/1 位 壓力轉換公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^ | |||
| 更新時間 | 60毫秒 | |||
| 控制輸入信號 | 使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯運行 | - | - | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發射有效， 燈絲功率監控 額定值：24V MAX，50mA MAX，飽和電壓 1V | - | - | |
| 串行通信規范 | - | RS232C/RS-485 | EtherCAT | |
| LED顯示屏 | POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化） | |||
| 發射電流 | 2mA（1×10 -2 Pa以下）、10μA（1×10 -2 Pa以上） | |||
| 脫氣 | 電子轟擊法，發射電流2mA，柵極電壓約330V | |||
| 傳感器耐壓 | 2×10 +5 Pa（壓力） *法蘭和卡箍的承受壓力必須單獨考慮。 | |||
| 傳感器內部容積 | 17cm3 （ SWT-16）、19cm3 （ SWT-25） | |||
| 工作溫度限制 | 10 至 50°C | |||
| 工作濕度范圍 | 15 至 80%（無冷凝） | |||
| 貯存溫度 | -20 至 65°C（未通電時無冷凝） | |||
| 知識產權保護等級 | IP30 | |||
| 電源電壓 | 20 至 28 VDC（紋波、噪聲 1% 或更低） 8W以下 | |||
| 輸入/輸出連接器 | D-sub 15針（M2.6螺絲） | |||
| 大量的 | 控制器：約 280g 觸控筆（SWT-16、SWT-25）：80g | |||
| 尺寸 W×D×H | 69mm×63mm×90mm（控制器部分） | |||
| 符合標準 | 行政長官 | |||
| 選項 | 多離子計傳感器 | SWT-16 (NW16)、SWT-25 (NW25) 材質：燈絲：Ir/Y 2 O 3涂層 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐/鎳鍍層 | ||
| 皮拉尼規 | SWU10-R *也兼容傳統 SPU | |||
| 皮拉尼壓力傳感器 | SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)、SWP-CF16(ICF034) 材質: 燈絲 - Pt, 其他 - BS/Ni, 電鍍, Ni, 焊料 | |||
| 大氣壓傳感器 | SAU(NW16) 材質：SUS316L | |||
| 單元電纜 | GUC-200P（SWU用）：0.5m、1m、2m GUC-200A（SAU用）：0.5m、1m、2m | |||
| 顯示單元 | 1CH：ISG1（使用DC24V供電） | |||
| 顯示單元電纜 | SH200 和顯示單元之間的電纜 2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m | |||
| 連接器 | 輸入/輸出連接器（D-sub15-socket（M2.6mm螺絲）） | |||
| 其他 | 檢驗報告、一般校準測試報告、JCSS校準證書 | |||
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