日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT
特征
排氣 → 鍍膜（蝕刻） → 全自動直至向大氣開放
盡管是緊湊型，但仍可控制膜厚（簡易型）
操作簡單、重現性高的全自動濺射設備
配備鍍膜/蝕刻模式
應用/結果示例
適用于各種設備的電極膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701AT
基本規格
| 陰極 | φ2英寸/2極面對電極 |
| 濺射靶 | 包括 Au 目標 |
| 蝕刻靶 | 包括鋁目標 |
| 膜厚設定方法 | 預設方法/帶膜厚監視器的數字顯示 |
| 氣體引入機制 | 針閥 |
| 真空泵 | 直聯回轉泵：20l/min（帶自動漏氣） |
| 排氣操作 | 自動的 |
| 腔室尺寸 | 內徑 φ120 mm x D120 mm（SUS 制） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 主體：225/420 / 320mm RP：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身體：15kg RP：9kg |
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