日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX

更新日期：2024-05-14

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廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商

生產(chǎn)地址：

簡(jiǎn)要描述：

日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX
用于半導(dǎo)體/FPD制造的超高純度氣體供應(yīng)/加熱

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產(chǎn)品介紹

日本watty燃?xì)饧訜嵊酶咝Ъ訜崞鱓EX

<特點(diǎn)>

1. S/M/L型采用EP管結(jié)構(gòu)，
接頭、配管等氣體接觸部位均采用不銹鋼（SUS316L）材質(zhì)。
- 被加熱氣體在不接觸加熱器表面的情況下被加熱。它在被轉(zhuǎn)移到干凈的管道中的同時(shí)被加熱。

2.
擁有最小流量10L/min～100L/min、操作量的小型、輕量、高效、各尺寸的規(guī)格的產(chǎn)品陣容溫度300°C。

3. 標(biāo)配熱電偶和恒溫器
?溫度控制和防止過(guò)熱也是標(biāo)配。接線也很容易。

4, 入口/出口接頭可以更換
?標(biāo)準(zhǔn)接頭為 UJR 1/4 內(nèi)螺紋尺寸。
- 支持從 1/4 到 1/2 大小的入口/出口尺寸。

類(lèi)型	S型		M型		L型
類(lèi)型	WEX-S * -2 *	WEX-S * -3 *	WEX-M * -2 *	WEX-M * -3 *	WEX-L * -3 *
可加熱流體	惰性氣體
工作溫度	200℃	300℃	200℃	300℃	300℃
額定流量	~ 10L/分鐘		~ 50L/分鐘		~ 100L/分鐘
額定容量	130W	190W	400W	560W	1300W
工作壓力	0.5Mpa
標(biāo)準(zhǔn)配件	UJR"1/4 女				UJR"3/8 女
氣體接觸材料	SUS316L（WEP規(guī)格）
泄漏率	1 x 10 ¹⁰ Pa·m3/sec以下
電源	AC100 或 AC200
熱電偶	K型2級(jí)
恒溫器	光盤(pán)類(lèi)型	塊類(lèi)型	光盤(pán)類(lèi)型	塊類(lèi)型	塊類(lèi)型
機(jī)身外形尺寸（高 x 寬 x 深）	75 x 75 x 98	96 x 102 x 128	125.5 x 100 x 115	155.5 x 130 x 145	178 x 150 x 165
體重	約1公斤	約1.2kg	約2kg	約2.3kg	約 4 公斤
接線方式	連接器拆卸	引線 2m	連接器拆卸	引線 2m	連接器拆卸
標(biāo)準(zhǔn)配件	* 1	※四	* 2	※五	* 3

* 1 熱/電源連接器 x 1 K 熱電偶連接器 x 1 安裝支架 x 1
* 2 熱/電源連接器 x 1 K 熱電偶連接器 x 1 安裝支架 x 2

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〇 WEX-UL-S2-S（UL兼容）

〇超小型WEX?SS