日本dip半質量生產設備H500-S-BCO
日本dip半質量生產設備H500-S-BCO
| 模型 | H500-S-BCO |
|---|---|
| 材料 | 鋁（A505），不銹鋼（SUS304） |
| PVC | |
| 外形尺寸（* 1） | 寬1800mm深1500mm高1500mm |
| 設備重量（* 2） | 250公斤 |
| [浸入部分] | |
| 處理速度 | 0.1mm /秒-50mm /秒 |
| 加工行程 | 500毫米 |
| 工作尺寸 | 500mm平方x t1mm |
| 工作重量 | 5公斤 |
| 工件數量 | 1張 |
| 循環(huán)過濾罐 | 標準 |
| 篩選 | 10μSUS濾網 |
| [熱處理科] | |
| 方法 | 熱風單程結構 |
| 加熱器容量 | 3千瓦 |
| 溫度 | 150℃±3℃（爐內無負載時） |
| 絕緣 | 60噸 |
| 溫度控制 | PID（ON-OFF）控制 |
| [控制單元] | |
| 輸入介面 | 觸控面板類型 |
| 評論 | 浸入部分和熱處理部分通過活門結構分開。 |
| Class1000清潔兼容 | |
| 使用電源 | 3φ200伏 |
| 能量消耗 | 5kVA |
セミ量産用裝置事例
H450-S-BY
H500-S-BCO
H600S-YDS
シリコンウエハー向けディップコーター
ハードコート試作用裝置
F2000S
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