日本hrd熱范圍TM3
更新日期：2024-05-12
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簡要描述：
日本hrd熱范圍TM3用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率用于測量薄膜和微小區(qū)域的熱發(fā)射率
日本hrd熱范圍TM3
日本hrd熱范圍TM3
特征
- 熱物理特性顯微鏡是一種測量熱效率的設備，熱效率是熱物理特性值之一。
- 它是一種可以通過點，線和表面來測量樣品的熱性能的設備。
- 還可以測量微米級的熱物理性質分布，這在常規(guī)的熱物理性質測量裝置中被認為是困難的。
- 它是一臺可對熱物理性質進行非接觸式和高分辨率測量的設備。
- 檢測光斑直徑為3μm，可在微小區(qū)域內進行高分辨率的熱物理性質測量（點/線/面測量）。
- 由于可以通過改變深度范圍進行測量，因此可以測量從薄膜/多層膜到塊狀材料。
- 您也可以在板上測量樣品。
- 激光非接觸式測量。
- 可以檢測薄膜下方的裂縫，空隙和剝離。
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熱物理顯微鏡的測量原理（概述）
在樣品上形成金屬薄膜，并用加熱激光器定期加熱。
- 由于金屬的反射率具有隨表面溫度而變化的性質（熱電阻法），因此通過捕捉與加熱激光同軸照射的檢測激光的反射強度的變化，來測量表面的相對溫度變化。 。
- 熱量從金屬薄膜傳播到樣品，導致表面溫度響應的相位延遲。該相位延遲取決于樣品的熱性質。通過測量加熱光和檢測光之間的相位延遲來獲得熱效率。
主要規(guī)格
| 名稱/產品名稱 | 熱物理特征顯微鏡/熱顯微鏡 |
|---|---|
| 測量方式 | 熱物理性質分布測量（1D，2D，1點） |
| 測量項目 | 熱效率，（熱擴散率），（熱導率） |
| 檢測光斑直徑 | 約3μm |
| 1點測量標準時間 | 10秒 |
| 待測薄膜 | 厚度從幾百納米到幾十微米 |
| 重復精度 | 耐熱玻璃和硅的熱效率小于±10％ |
| 樣本 | 1.樣品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 2.板狀樣品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
|
| 工作溫度極限 | 24°C±1°C（根據(jù)設備中內置的溫度傳感器） |
| 載物臺移動距離 | ? X軸方向20mm ? Y軸方向20mm ? Z軸方向10mm |
| 激光加熱 | 半導體激光波長：808nm |
| 激光檢測 | 半導體激光波長：658nm |
| 電源供應 | 交流100V 1.5kVA |
| 標準配件 | 樣品架，參考樣品 |
| 選項 | 光學平臺，空調，空調房，濺射設備 |
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