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          1秒非接觸測厚——大冢SM-100手持膜厚儀

          發布時間: 2025-11-14  點擊次數: 93次
            在智能手機鍍膜、光學薄膜、食品包裝以及半導體封裝等產線,現場巡檢若仍依賴臺式橢偏儀或接觸式千分尺,不僅節拍慢,還可能劃傷樣品。日本Otsuka(大冢電子)推出的SM-100系列手持式非接觸膜厚儀,將反射分光干涉模塊集成于1.1kg手柄內,1秒內完成0.1μm-100μm單層/多層膜厚測試,為現場質檢帶來“即拿、即測、即判”的全新體驗。
           
            一、反射分光干涉:無需標樣,0.1μm起測
           
            SM-100采用白光LED+微型光譜儀架構,通過解析干涉條紋頻率,直接計算絕對膜厚,免除傳統渦流/電磁法所需的基材檢量線。典型重復性2σ=0.01μm(SiO? 1μm),可覆蓋1-50μm常規厚度,選配模式擴展至100μm,適用于AR膜、阻隔膜、AB膠等單/多層結構。
           
            二、手持1秒測試:巡檢速度提升10倍
           
            整機重約1.1kg,內置鋰電池連續工作4小時;測量光斑Φ1mm,對準即觸發,1秒內輸出結果,避免臺式設備搬樣、對焦、抽真空等耗時步驟。現場巡檢UPH可達600點,是臺式橢偏儀的10倍,且不受樣品翹曲影響。
           
            三、形狀自適應:曲面、邊緣、窄縫輕松測
           
            標配筆型探頭(Φ6mm端部)可深入鏡片邊緣、手機中框臺階、包裝封口等狹窄區域;同時提供“非接觸載臺”選件,濕膜或半導體晶圓無需接觸即可完成掃描,防止二次劃傷或污染。
           
            四、數據無縫對接:USB-U盤+PC軟件
           
            主機屏幕實時顯示膜厚、光譜曲線與合格標識;插入U盤自動保存CSV,回辦公室一鍵導入Excel生成趨勢圖。USB-C接口亦可直連電腦,配套軟件完成SPC分析、CPK計算,滿足IQC/OQC電子記錄要求。
           
            五、現場落地案例
           
            手機AR鍍膜:現場抽檢蓋板AR膜(設計值106nm),1秒測得105.7nm,與臺式橢偏儀偏差0.3nm,巡檢600片/班,節省外送實驗室時間約4h。
           
            食品包裝PVDC:濕膜狀態即時測得12.4μm,干燥后對比11.9μm,確認溶劑揮發率3.9%,用于擠出模頭在線調節。
           
            光學鏡片中心:筆型探頭測量Φ8mm鏡片中心抗反射膜,1點1秒,整盤80片完成僅需90s,R&R<5%。
           
            六、技術規格一覽
           
            測量原理:反射分光干涉法
           
            膜厚范圍:0.1-100μm(單層);1-100μm(多層,最大3層)
           
            重復性:0.01μm(SiO? 1μm)
           
            測量時間:≤1s
           
            光斑直徑:≤Φ1mm(標準探頭);Φ6mm(筆型探頭)
           
            數據輸出:USB-U盤+RS-485(選配)
           
            重量:約1.1kg;續航>4h
           
            防護等級:IP30,可選IP54防塵套件
           
            結語
           
            日本Otsuka SM-100以“手持+1秒+非接觸”三大核心優勢,把原本局限于實驗室的膜厚測試搬到生產現場,實現巡檢節拍與測試精度的雙贏,為光學、電子、包裝及半導體封裝等行業提供了高效、零損傷、數據可追溯的膜厚質控新范式
           
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